半導(dǎo)體與材料測(cè)試中，精度與效率缺一不可。華測(cè)儀器HCCS-4探針臺(tái)以高準(zhǔn)度為關(guān)鍵，整合實(shí)用功能，適配多元化測(cè)試需求，是為實(shí)驗(yàn)室與生產(chǎn)線設(shè)計(jì)的測(cè)試裝備。

該設(shè)備定位準(zhǔn)確，X-Y移動(dòng)平臺(tái)行程4×4英寸，具備1μm移動(dòng)精度，采用準(zhǔn)確傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，可準(zhǔn)確定位測(cè)試點(diǎn)位，避免數(shù)據(jù)失真，保障測(cè)試數(shù)據(jù)可信度。樣品臺(tái)支持360°旋轉(zhuǎn)及準(zhǔn)確微調(diào)，可實(shí)現(xiàn)多角度重復(fù)測(cè)試，定位準(zhǔn)確、數(shù)據(jù)波動(dòng)小，保障數(shù)據(jù)穩(wěn)定性與可重復(fù)性，降低實(shí)驗(yàn)誤差、優(yōu)化測(cè)試效率。設(shè)備具有溫控能力，溫度范圍覆蓋室溫至400℃，可模擬材料實(shí)際服役溫度；0.1℃控溫精度，能穩(wěn)定維持溫度恒定，適配高溫等材料的電學(xué)性能測(cè)試。測(cè)試功能多元化，支持高溫I-V、擊穿、介電溫譜等多種項(xiàng)目，可評(píng)估材料與器件高溫電學(xué)特性，為研發(fā)優(yōu)化、性能歸因提供依據(jù)，適配多領(lǐng)域需求。U型平臺(tái)可搭載2~4個(gè)探針座，支持直流、射頻兼容，適配多種測(cè)試儀表，無(wú)需額外轉(zhuǎn)接設(shè)備；探針座兼容多種線材，可滿足不同精度測(cè)試需求。采用中心吸附孔+多圈吸附環(huán)設(shè)計(jì)，可牢固固定薄片、薄膜、晶圓等多種樣品；配備電學(xué)單獨(dú)樣品臺(tái)，拓寬樣品適配范圍，可滿足特殊樣品測(cè)試需求。搭載高清體式顯微鏡，成像清晰，便于快速找點(diǎn)對(duì)針；支持可選CCD成像系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)測(cè)試可視化記錄，兼顧精度與效率，優(yōu)化測(cè)試流程順暢性。

華測(cè)儀器HCCS-4探針臺(tái)憑借高準(zhǔn)度、高適配性，契合半導(dǎo)體與材料測(cè)試需求，為技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級(jí)提供有力測(cè)試支撐。華測(cè)儀器的業(yè)務(wù)涵蓋從單臺(tái)測(cè)試設(shè)備供應(yīng)到整體實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃建設(shè)的全過(guò)程。建設(shè)絕緣材料或功能材料電性能檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室，華測(cè)儀器可提供從方案設(shè)計(jì)到交付驗(yàn)收的完整服務(wù)。